截至2026年5月6日 10:11，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨4.57%，成分股神工股份上涨11.04%，上海合晶上涨9.17%，拓荆科技上涨7.84%，天岳先进，华海诚科等个股跟涨。半导体设备ETF万家(159327)上涨4.71%，盘中最高涨超6%。拉长时间看，截至2026年4月30日，半导体设备ETF万家近2周累计上涨12.35%。
“五一”小长假期间，海外市场整体运行平稳。在北美云厂商资本开支继续扩张，及全球存储芯片龙头业绩全面超预期的提振下，与科技板块关联度较高的纳斯达克指数、韩国综合指数领涨全球大类资产。展望节后市场，券商策略研报认为，5月A股大概率延续震荡偏强的运行格局，海外科技股业绩超预期，产业趋势密集催化。
近期，半导体设备行业呈现结构性高景气，国产化替代加速推进。国金证券指出，2025年国内半导体设备板块营收同比增长28.95%，归母净利润同比增长10.42%；2026年一季度营收同比再增25.78%，净利润同比大幅增长60.42%，主要受益于存储芯片大幅扩产、先进制程验证通过及核心设备批量结转收入，规模效应与高毛利产品占比提升共同驱动盈利跃升。随着头部晶圆厂扩产确定性增强，设备国产化率持续提升，行业正从“能用”迈向“好用、多用”阶段。
全球晶圆厂资本开支上修趋势明确，WFE（晶圆制造设备）市场景气度持续攀升。招商证券援引KLA财报分析指出，2026年全球WFE市场规模预计超1400亿美元，2027年同比增速有望进一步加快；公司预计2026年全年营收将逐季增长，半导体过程控制系统业务增速超20%，主要驱动力来自先进制程节点推进及HBM相关投资放量，AI已成为设备厂商业绩表现和增长动能的核心引擎。
数据显示，截至2026年4月30日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、中科飞测、沪硅产业、江丰电子、芯源微、南大光电，前十大权重股合计占比65.46%。
规模方面，截至2026年4月30日，半导体设备ETF万家最新规模达12.60亿元，创近1年新高。份额方面，半导体设备ETF万家近1月份额增长2200.00万份。资金流入方面，拉长时间看，近18个交易日内，合计“吸金”4391.95万元。
截至2026年4月30日，半导体设备ETF万家近1年夏普比率为2.10，排名可比基金1/5，同等风险下收益最高。
费率方面，半导体设备ETF万家管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。
万家中证半导体材料设备主题ETF(场内简称半导体设备ETF万家，159327)紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，具有高成长、高弹性的特征。场外投资者可通过万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接(A：023828；C：023829)把握投资机会。
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